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Portfolio

.25 µm
.18 µm
.13 µm
TECHNOLOGIES  .18 µm Imprimer

Advanced features

P-Silicon, non-Epi

Shallow Trench isolation

Dual work function

Single Poly, 6 layers of Copper dual damascene metallization

Planarized passivation and interlevel dielectric

Process options : Dual Gate Ox, Poly/Implanted resistors, Metal to metal and Poly/N-well capacitors, Hi/Lo Vt N and P FETs, Thick alu

Devices Options : MIMCAP, Inductors, substrate Bipolar PNP, eDRAM

Wire Bond or Flip-chip terminals

L'Essentiel

La technologie 0.18µm d'Altis Semiconductor est un procédé avancé aux rendements élevés basé sur le standard industriel 0.18µm-ground-rules process s'appuyant sur des niveaux d'interconnexion cuivre fins. Ce procédé est un élément clé de la Roadmap technologique d'Altis. Dès 2000, Altis a pris l'option stratégique de proposer sa technologie .18µm en interconnexion cuivre.

La technologie 0.18µm s'appuie sur une chaîne de production de haute qualité, permettant d'atteindre de hauts niveaux de fiabilité. La longue expérience qui en résulte permet aujourd'hui de mettre très rapidement sur le marché des nouveaux produits pour lesquels les rendements sont tout de suite optimisés.Ce 0.18µm-ground-rules process est à l'origine d'un grand nombre d'applications, digitales, analogiques, mixed signal and RF. Les nombreuses options de ce procédé permettent de développer des solutions adaptées aux besoins spécifiques de nos clients.

Altis Semiconductor a mis cette technologie en oeuvre avec succès sur des marchés de volume et pour des acteurs majeurs de ces marchés.

0.18 µm TECHNOLOGY KEY FEATURE
 Technologie  0.18µm
 Lithography  0.18µm Deep UV
 Ldrawn  0.15µm
 Leff  0.11µm
 Gate Oxide Thickness  35 A (1.8 Volts)
 68 A (3.3 Volts I/O)
 Isolation  Shallow Trench Isolation
 Polysilicon  Single layer
 Intermetal dielectric  SiO2
 Via fill  Cu for M1 to M6
 Poly/Metal layers  1Poly 2 to 6 Metal (Cu)
 Poly/Metal pitch  M0 - Poly 0.60µm
 M1 - Metal 1 0.44µm
 M2 to M6 0.56µm
 Process Options  Dual Gate Ox (3.3 Volts I/O)
 high Vt/Low Vt N and P Fets
 Meta to Metal Capacitors-MIMCAP
 Poly/N-Well capacitors
0.18 µm TECHNOLOGY CIRCUIT KEY CARACTERISTICS
 Supply Voltage       1.8 Volts
 I/O Voltage        3.3/2.5/1.5 Volts
 Gate  Density       > 120 K raw gates per mm²
 Delay 33 ps -NAND2, FO2 , nominal-
 Power  Typical 20nW/gate/MHz
 Transistors  High performance MOS  Treshhold voltages  Vth  0.43/ -0.38 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  600/ -260 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  0.5 nA / µm
 Low-power MOS  Treshhold voltages  Vth  0.56 / -0.495 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  500 / -210 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  15 pA / µm
 3.3 V I/O transistors  Treshhold voltages  Vth  0.64 / -0.65 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  550 / -235 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  5 pA/µm
 Analog transistors  Treshhold voltages  Vth  0.42 / -0.37 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  450 / -200 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff   8 / 10 pA/µm
 Substrate pnp (ß = 1.9)    VEA  25 V
 6TSRAM  Cell Area    Standard  4.96 µm²
   Dense  3.67 µm²
 DRAM  Cell Area      0.56 µm²
 Resistors  Diffusion    N-Type   75 ? / sq
   P-Type   112 ? / sq
 Poly    N-Type  350 ? / sq
   P-Type  270 ? / sq
 Capacitors  MIMCAP :    Std  1.0fF/µm²
 Poly-Substrate Capacitor    Thin Ox  7.76 fF/µm
   Thick Ox  4.37 fF/µm