La technologie 0.18µm
d'Altis Semiconductor est un procédé avancé
aux rendements élevés basé sur le
standard industriel 0.18µm-ground-rules process
s'appuyant sur des niveaux d'interconnexion cuivre
fins. Ce procédé est un élément
clé de la Roadmap technologique d'Altis. Dès
2000, Altis a pris l'option stratégique de proposer
sa technologie .18µm en interconnexion cuivre.
La technologie 0.18µm s'appuie sur une chaîne
de production de haute qualité, permettant d'atteindre
de hauts niveaux de fiabilité. La longue expérience
qui en résulte permet aujourd'hui de mettre très
rapidement sur le marché des nouveaux produits
pour lesquels les rendements sont tout de suite optimisés.Ce
0.18µm-ground-rules process est à
l'origine d'un grand nombre d'applications, digitales,
analogiques, mixed signal and RF. Les nombreuses options
de ce procédé permettent de développer
des solutions adaptées aux besoins spécifiques
de nos clients.
Altis Semiconductor a mis cette technologie en oeuvre
avec succès sur des marchés de volume et
pour des acteurs majeurs de ces marchés.
0.18 µm TECHNOLOGY KEY FEATURE
Technologie
0.18µm
Lithography
0.18µm Deep UV
Ldrawn
0.15µm
Leff
0.11µm
Gate Oxide Thickness
35 A (1.8 Volts) 68 A (3.3 Volts I/O)
Isolation
Shallow Trench Isolation
Polysilicon
Single layer
Intermetal dielectric
SiO2
Via fill
Cu for M1 to M6
Poly/Metal layers
1Poly 2 to 6 Metal (Cu)
Poly/Metal pitch
M0 - Poly 0.60µm M1 - Metal 1 0.44µm M2 to M6 0.56µm
Process Options
Dual Gate Ox (3.3 Volts I/O) high Vt/Low Vt N and P Fets
Meta to Metal Capacitors-MIMCAP
Poly/N-Well capacitors