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.25 µm
.18 µm

.13 µm
TECHNOLOGIES  .25 µm Imprimer

Advanced features

P-Epi on P+ substrate

Shallow Trench isolation

Dual work function

Single Poly, 6 layers of Alu metal process

Planarized passivation and interlevel dielectric

Process options : Dual Gate Ox, Poly/Implanted resistors, Metal to metal and Poly/N-well capacitors, Hi/Lo Vt N and P FETs, Thick alu Devices Options : MIMCAP, Inductors, 5V Transistor

Wire Bond or Flip-chip terminals

L'Essentiel


La technologie 0.25µm d'Altis Semiconductor est un procédé robuste aux rendements élevés basé sur le standard industriel 0.25µm-ground-rules process. Ce 0.25µm-ground-rules process est à l'origine d'un grand nombre d'applications, digitales, analogiques, mixed signal and RF, et reposant sur le standard industriel EDA. Les nombreuses options de ce procédé permettent de développer des solutions adaptées aux besoins spécifiques de nos clients.

Depuis 1998, Altis Semiconductor a mis cette technologie en oeuvre avec succès sur des marchés de volume (informatique, image, vidéo, téléphonie avec et sans fil, automobile) et pour des acteurs essentiels de ces marchés.

0.25 µm TECHNOLOGY KEY FEATURE
 Technologie  0.25µm
 Lithography  0.25µm - Deep UV
 Ldrawn  0.24µm
 Leff  0.18µm
 Gate Oxide Thickness  50 A ( 2.5 Volts )
 70 A ( 3.3 Volts I/O)
 Isolation  Shallow Trench Isolation
 Polysilicon  Single layer
 Intermetal dielectric  SiO2
 Via fill  W for M1 to M6
 Poly/Metal layers  1Poly 2 to 6 Metal (Alu)
 Poly/Metal pitch  M0 - Poly 0.60µm
 M1 - Metal 1 0.64µm
 M2 to M6 0.80µm
 Process Options  Dual Gate Ox (3.3 Volts I/O)
 High Vt/Low Vt N and P Fets
 Meta to Metal capacitors -MIMCAP-
 Poly/N-Well capacitors
 4µm-Thickness last Metal (alu)
0.25 µm TECHNOLOGY CIRCUIT KEY CARACTERISTICS
 Supply Voltage      2.5 Volts
 I/O Voltage        2.5/1.8 Volts
 Gate  Density       > 40 K raw gates per mm²
 Delay 50 ps -NAND2, FO2 , nominal-
 Power  Typical 40nW/gate/MHz
 Transistors  High performance MOS  Treshhold voltages  Vth  (Vt sat ) 0.335 / -0.266 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  639 / 338 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  28 / 270 pA/µm
 Regular MOS  Treshhold voltages  Vth  ( vt sat ) 0.440 / -0.405 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  595 / 280 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  2.3 / 10 pA/µm
 Low-power MOS  Treshhold voltages  Vth  ( vt sat ) 0.545 / -0.529 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  548 / 229 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  0.24 / 1.1 pA/µm
 Zero Vt nFET  Treshhold voltages  Vth Vtsat @min L  -0.07 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  592 uA/µm
 3.3 V I/O transistors
(& Analog Tx)
 Treshhold voltages  Vth  (Vt sat ) 0.425 / -0.460 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  580 / 285 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff  2 / 1.7 pA/µm
 5 Volts transistors  Treshhold voltages  Vth  0.970 / - 1.035 V
 Saturation currents  Idsat = Ion  505 / - 190 uA/µm
 Leakage currents  Ileak = Ioff   Nom 1.5 / -3 , max @ 25°c 15 / -15
 Substrate pnp (ß = 1.9)    VEA  Beta 3.9 , VCE 14V
 6TSRAM  Cell Area    Standard  10µm²
   Dense   7.5µm²
 Resistors  Diffusion    N-Type  63 ? / sq
   P-Type  100 ? / sq
 Poly    N-Type   210 - 3600 ? / sq
 Capacitors  BR Capacitor      4.8fF/µm²
 MIMCAP :    Std  0.7fF/µm² +/- 10%
   SIN MIMCAP  2.0 fF/µm²
 Inductors        Q = 15 -20 @ 1-2 GHz